2024-10-30 17:07:47
閘閥的啟閉件是閘板,閘板的運(yùn)動(dòng)方向與流體方向相垂直,閘閥只能作全開和全關(guān),不能作調(diào)節(jié)和節(jié)流。閘板有兩個(gè)密封面,常用的模式閘板閥的兩個(gè)密封面形成楔形、楔形角隨閥門參數(shù)而異,通常為5°,介質(zhì)溫度不高時(shí)為2°52'。楔式閘閥的閘板可以做成一個(gè)整體,叫做剛性閘板;也可以做成能產(chǎn)生微量變形的閘板,以改善其工藝性,彌補(bǔ)密封面角度在加工過程中產(chǎn)生的偏差,這種閘板叫做彈性閘板。閘閥關(guān)閉時(shí),密封面可以只依靠介質(zhì)壓力來密封,即依靠介質(zhì)壓力將閘板的密封面壓向另一側(cè)的閥座來保證密封面的密封,這就是自密封。大部分閘閥是采用強(qiáng)制密封的,即閥門關(guān)閉時(shí),要依靠外力強(qiáng)行將閘板壓向閥座,以保證密封面的密封性。閘閥的閘板隨閥桿一起作直線運(yùn)動(dòng)的,叫升降桿閘閥,亦叫明桿閘閥。微泰轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。PVD閘閥閘板閥
微泰,專門用閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating? Etch? Diffusion(擴(kuò)散)?CVD等設(shè)備上。可替代VAT閘閥。期特點(diǎn)是*使用維修配件工具包易于維護(hù)*將電磁閥和位置傳感器連接到15針D-Sub*鎖定功能*限位開關(guān)*?速度控制器&電磁閥(2Port+N2Port)用不銹鋼管連接(φ6)*應(yīng)用:泵隔離,產(chǎn)品工藝水平要求高的地方。專門用閘閥規(guī)格如下:驅(qū)動(dòng)方式:氣動(dòng)、法蘭尺寸:4英寸~ 8英寸、法蘭類型:ISO, JIS, ASA, CF、連接方式:焊接波紋管、閥門密封:氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封:Viton O型圈、響應(yīng)時(shí)間:≤ 0.3 sec ~2 sec、操作壓力范圍:1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開始時(shí)的壓差:≤ 30 mbar、閘門的差動(dòng)壓力:4? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar、泄漏率:< 1×10 -10 Mbar/秒、初次維護(hù)前可用次數(shù):200,000次、閥體溫度≤ 200 °、CTemperature for Actuator≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 150 °C、材料:閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置:任意、操作壓力(N2):4 ~ 7 bar。有中國臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、Micron,Global Foundries、英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體業(yè)績(jī)。
UHV閘閥TRANSFER VALVE高壓閘閥,屬于強(qiáng)制密封式閥門,所以在閥門關(guān)閉時(shí),必須向閘板施加壓力,以強(qiáng)制密封面不泄漏。
插板閥應(yīng)用范圍廣泛,主要包括以下領(lǐng)域:1.化工行業(yè):用于管道、容器等設(shè)備的介質(zhì)控制,如石油、天然氣、化工產(chǎn)品等。2.礦山行業(yè):用于礦井通風(fēng)、排水系統(tǒng)中的介質(zhì)調(diào)節(jié)和控制。3.食品行業(yè):用于食品生產(chǎn)、加工過程中的介質(zhì)控制,保證食品**。4.冶金行業(yè):用于高溫、高壓、腐蝕性介質(zhì)的控制。5.紡織行業(yè):用于織物生產(chǎn)過程中的介質(zhì)調(diào)節(jié)和控制。6.造紙行業(yè):用于造紙過程中介質(zhì)的調(diào)節(jié)和控制。7.水處理行業(yè):用于污水處理、供水系統(tǒng)中的介質(zhì)調(diào)節(jié)和控制。8.熱力行業(yè):用于火力發(fā)電廠、供熱系統(tǒng)中介質(zhì)的調(diào)節(jié)和控制。9.建筑行業(yè):用于建筑給排水、供暖、空調(diào)系統(tǒng)中的介質(zhì)調(diào)節(jié)和控制。10.其他行業(yè):如環(huán)保、交通、能源等領(lǐng)域。
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,氣動(dòng)多位置閘閥,氣動(dòng)多定位閘閥,多定位插板閥,Pneumatic Multi Position 其特點(diǎn)是1,全開和關(guān)閉位置使用帶有位置發(fā)射器的氣動(dòng)電磁閥進(jìn)行控制;2,所有位置控制都由控制器進(jìn)行操作。1)控制類型-全開:高速閘門全開操作-全閉:高速閘門全閉操作-位置(POS.)控制:將閘門移動(dòng)到設(shè)定的位置值;2)操作時(shí)間-完全打開?完全關(guān)閉:<2秒(取決于速度控制器設(shè)置)-位置(POS。)控制: 0%?**工作,<MAX18秒(偏差: < ±0.5%)。微泰氣動(dòng)多位置閘閥,氣動(dòng)多定位閘閥,多定位插板閥,Pneumatic Multi Position,有中國臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)。非金屬材料高壓閘閥有陶瓷閥門、玻璃閥門、塑料閥門。
微泰,傳輸閥 (L-MOTION)、L型轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工,半導(dǎo)體加工,可替代VAT閘閥。其特點(diǎn)是? 主體材料:鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計(jì)? 使用維修配件工具包易于維護(hù)? 應(yīng)用:半導(dǎo)體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離,傳輸閥 (L-MOTION)、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下:閘門密封類型:傳輸閥 (L-MOTION)、左動(dòng)轉(zhuǎn)換閥、驅(qū)動(dòng)方式:氣動(dòng)、法蘭尺寸(內(nèi)徑) 32×222/46×236/50×336/56×500 、連接方式:焊接波紋管、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件、閥蓋密封:氟橡膠O型圈、響應(yīng)時(shí)間:≤ 2 sec、工作壓力范圍:1×10-10 mbar to 1200 mbar、開始時(shí)的壓差:≤ 30 mbar、開啟時(shí)壓差: ≤ 1200 mbar r、泄漏率不銹鋼:< 1×10 -9Mbar?/秒/鋁:< 1×10 -5 mbar ?/秒、維護(hù)前可用次數(shù): ≥1,000,000次、閥體溫度≤ 200 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 200 °C、材料:閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置:任意、操作壓力(N2):4 ~ 7 bar。有中國臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰尽?微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,三重防護(hù)閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))等設(shè)備。低真空閘閥Micron
真空閘閥廣泛應(yīng)用于各個(gè)行業(yè),包括半導(dǎo)體制造、研發(fā)、分析類儀器和真空鍍膜。PVD閘閥閘板閥
微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn):插板閥主滑閥的球機(jī)構(gòu)方式-在量產(chǎn)工藝設(shè)備上的性能驗(yàn)證-由半**性鋼球陶瓷和板簧組成,陶瓷和金屬觸摸驅(qū)動(dòng)無顆粒-已向中國臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備,設(shè)備廠批量供貨,已得到品質(zhì)認(rèn)可,已完成對(duì)半導(dǎo)體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證,而其他廠家閘閥金屬和金屬觸摸驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生大量顆粒。使用鋼陶瓷球,與金屬摩擦?xí)r不會(huì)損壞,金屬與陶瓷球之間不會(huì)產(chǎn)生Particle,半**板簧(SUS鋼板)的應(yīng)用確保閥門驅(qū)動(dòng)同步性,采用了固定球?qū)蚱骱弯撎沾?。微泰半?dǎo)體閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對(duì)卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴(kuò)散)?CVD(化學(xué)氣相沉積)等設(shè)備上??商娲鶫VA閘閥、VAT閘閥。上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰?。PVD閘閥閘板閥